本書作者 Nadim Maluf 在史丹福大學博士班期間即致力於微機電系統的研究，之後更在產業界從事微機電系統 (MEMS) 產品的開發與商品化的工作，有十餘年的研究及實務經驗，對於 MEMS 的設計與製造有精闢的見解。
本書介紹關於微機電系統的材料、製程工具、現有的產品結構、未來發展方向及封裝等方面的基本認識，並著重於 MEMS 的設計觀念以及相關的製造技術。
本書適用於大專、技術學院、大學之電機、機械、工業工程與系統、應用物理系的師生和業界工程技術人員參考使用。
譯者簡介：
李世鴻
現職：大葉大學電機工程系暨研究所副教授
學歷：美國賓州州立大學電機工程博士
目錄
第一章 MEMS：來自小人國的技術
第二章 沙箱：MEMS的材料
第三章 工具箱：微加工的製程
第四章 齒輪箱：商品化的MEM結構及系統
第五章 新齒輪箱：窺視未來
第六章 包裝箱：MEMS的封裝
第一章 MEMS：來自小人國的技術
第二章 沙箱：MEMS的材料
第三章 工具箱：微加工的製程
第四章 齒輪箱：商品化的MEM結構及系統
第五章 新齒輪箱：窺視未來
第六章 包裝箱：MEMS的封裝
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