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半導體製程概論

作者：施敏、梅凱瑞
出版日期：2008-12-01
出版社：

國立成功大學

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本書清楚解釋從晶體成長到形成積體元件與電路的製造過程中，所有主要步驟的理論與實作層面的重點。各章穿插附有題解的範例，及學習目標與重要觀念的總結，並附習題為讀後作業。適合作為物理、化學、電機工程、化學工 ...
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