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野尻一男

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半導體乾蝕刻技術

作者：

野尻一男

出版日期：2015-03-01
出版社：白象文化事業有限公司
二手書徵求
日本生產工程權威獎項得主力作，圖解與表格詳實，帶領工程師掌握半導體乾蝕刻技術的全貌，提升現場即戰力。◎作者於1989年，以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年，以「低溫 ...
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