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半導體乾蝕刻技術

作者:野尻一男
出版日期:2015-03-01
二手書徵求
日本生產工程權威獎項得主力作,圖解與表格詳實,帶領工程師掌握

半導體乾蝕刻技術

的全貌,提升現場即戰力。◎作者於1989年,以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年,以「低溫 ...


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